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晶圓生產(chǎn)完成后，需要對(duì)其進(jìn)行各種參數(shù)的檢測(cè)，在檢測(cè)的過程中，需要在不同溫度下進(jìn)行測(cè)試，晶圓測(cè)試用溫控設(shè)備（晶圓測(cè)試溫控系統(tǒng)）是高精度，高分辨率，高穩(wěn)定性的控制設(shè)備。

PTHC防爆高低溫一體機(jī)和高低溫一體循環(huán)機(jī)配備人性化7英寸真彩LCD觸摸屏，良好的人機(jī)交互界面，直觀顯示本機(jī)參數(shù)及外部控溫參數(shù)，智能觸控，操作便捷。

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高低溫循環(huán)器主要應(yīng)用于高壓反應(yīng)釜、中試生產(chǎn)不銹鋼反應(yīng)釜、雙層玻璃反應(yīng)釜、夾套反應(yīng)釜、微通道反應(yīng)器、反應(yīng)裝置、組合化學(xué)等冷熱源動(dòng)態(tài)恒溫控制以及制藥行業(yè)中的低溫蒸餾、精餾、萃取等設(shè)備中。

TCU溫度控制系統(tǒng)配有先進(jìn)的泵技術(shù)，優(yōu)化熱傳遞，可調(diào)控泵確保液體循環(huán)和高流量，有效防止玻璃反應(yīng)釜因軟啟動(dòng)導(dǎo)致?lián)p壞，延長(zhǎng)導(dǎo)熱油使用壽命，密封的液壓系統(tǒng)防止導(dǎo)熱油氧化。

高低溫循環(huán)裝置結(jié)構(gòu)復(fù)雜，可以分為溫度控制系統(tǒng)、真空系統(tǒng)和循環(huán)系統(tǒng)等三部分。其中，溫度控制系統(tǒng)是關(guān)鍵部分，主要由加熱系統(tǒng)、制冷系統(tǒng)、控制器、傳感器等組成。

高低溫循環(huán)系統(tǒng)包括以下幾個(gè)基本組成部分：高溫?zé)嵩?、低溫?zé)嵩础⒐ぷ鹘橘|(zhì)、循環(huán)泵、蒸汽發(fā)生器、冷凝器、液態(tài)儲(chǔ)罐等。